分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层

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	分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层
	王亚斌; 刘忠; 李武; 董亚萍; 黄玉东
	2016
发表期刊	功能材料
期号	8 页码:8068-8073
关键词	分子纳米层扩散阻挡层粘接层铜固定化
摘要	无机材料形成的纳米层可以作为铜扩散阻挡层,已经被广泛地研究,如钽和氮化钽。但是在低于3纳米厚度,尤其在具有较高的深宽比的器件中,此类材料纳米层不够均匀致密,不能作为理想的扩散阻挡层。由短的有机链和功能性端基组成的有机分子纳米层被用来改善表面性能,如润滑,纳米光刻和腐蚀防护。本文介绍了有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的要求;综述了作为铜扩散阻挡层的有机分子纳米层的类型和作用机理;分析了每类分子纳米层的优势和不足;展望了分子纳米层今后的研究方向。此外,介绍了国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展。
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语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.isl.ac.cn/handle/363002/4147
专题	中国科学院青海盐湖研究所盐湖资源综合利用工程技术中心盐湖资源与化学实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	王亚斌,刘忠,李武,等. 分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层[J]. 功能材料,2016(8):8068-8073.
APA	王亚斌,刘忠,李武,董亚萍,&黄玉东.(2016).分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层.功能材料(8),8068-8073.
MLA	王亚斌,et al."分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层".功能材料 .8(2016):8068-8073.

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