Knowledge Management System Of Qinghai Institute of Salt Lakes,CAS
| 改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进 | |
刘刚; 秦榕; 刘生章; 王舒娅
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| 2013-09-12 | |
| 发表期刊 | 有色金属(冶炼部分)
 |
| 期号 | 09页码:56-59 |
| 关键词 | 多晶硅 西门子法 杂质 精馏 工艺 改进 |
| 摘要 | 改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.isl.ac.cn/handle/363002/2657 |
| 专题 | 青海盐湖研究所知识仓储 盐湖资源综合利用工程技术中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘刚,秦榕,刘生章,等. 改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进[J]. 有色金属(冶炼部分),2013(09):56-59. |
| APA | 刘刚,秦榕,刘生章,&王舒娅.(2013).改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进.有色金属(冶炼部分)(09),56-59. |
| MLA | 刘刚,et al."改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进".有色金属(冶炼部分) .09(2013):56-59. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进.p（266KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |||
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